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簡介
龍門架是一種機械結構類型,它將兩個物理軸耦合在一起,并使其在同一方向上運動。其廣泛應用于激光微加工、平板顯示器制造、PCB 板印刷、點膠和打孔、 晶圓檢驗計量、薄膜測量、激光直寫、晶圓級封裝以及 Micro-LED 巨量轉移等領 域。本文介紹了 AEROTECH 公司 AUTOMATION1 控制器的龍門解耦和電流命 令耦合控制原理,展示其在控制氣浮剛性龍門平臺時的靜態位置抖動和動態性能 等指示,并介紹如何利用 AEROTECH 公司 AUTOMATION 1 Studio 的調諧工 具來測量和優化軸的頻率響應,增強位置跟蹤控制算法(ETC)如何提運動系統在動態跟隨誤差以及移動 & 穩態時間等方面的性能。 |
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